Какие преимущества и недостатки имеет метод газофазного осаждения при нанесении покрытий?

Преимущества метода газофазного осаждения при нанесении покрытий:

• получение покрытий из металлов и соединений с теоретической плотностью и толщиной от нескольких микрон до 1–2 мм; studfile.net
• возможность нанесения материалов на различные основы (металлы, пластмассы, графит, стекло и т. д.), а также на изделия сложной формы; studfile.net
• возможность контролирования кристаллической структуры, морфологии и ориентации за счёт варьирования технологических параметров; viam-works.ru
• использование относительно невысоких температур при проведении процесса, что обусловлено низкими энергетическими затратами. viam-works.ru

Недостатки метода газофазного осаждения:

• необходимость соблюдения специальных требований и правил безопасности при работе с исходными химическими реагентами, которые могут быть коррозионно-активными, токсичными и пожароопасными газами; viam-works.ru
• сложность формирования многокомпонентных покрытий заданного стехиометрического состава из разнородных реагентов с разными температурой кипения и скоростью испарения; viam-works.ru
• использование сложных аппаратов, газовых и вакуумных систем, совмещённых технологических процессов, что ведёт к увеличению производственных затрат. viam-works.ru